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ビームテクノロジー&ナノ加工実践セミナー
講義(座学コース)および実習(無料コースと有料コース)
  無料実習コース(基礎的な微細加工プロセス実習): 電子ビーム露光装置による微細パターンリソグラフィー
  有料実習コース(アドバンスド実習): ナノワイヤトランジスタの作製と、それを用いたバイオセンシング

日 時:
  • 講義 2017年10月11日(水)13:00〜17:00・・・無料
  • 実習 (無料実習コースと有料実習コースは同時開催で日数が異なります。)
      無料実習コース:2017年11月27日(月) 1日のみ・・・無料
      有料実習コース:2017年11月27日(月)〜29日(水)3日間・・・料金=30,000円
場 所:
  • 講義 東京大学 浅野キャンパス 武田先端知ビル 1F セミナー室
        (Web配信受講)広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所 5F会議室
  • 実習 広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
      http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/
趣旨:  文部科学省委託事業「ナノテクノロジー・プラットフォーム」の一環として、 ”ビームテクノロジー&ナノ加工実践セミナー 〜 ナノマテリアル研究にむけて” を開催します。
微細加工技術を活用してナノマテリアルやナノデバイスなどの研究をしてみたいと考える研究者・技術者に向けて、 微細加工プラットフォームの保有する最新の高度な加工技術(EB描画、マスクレス・リソ、FIBなど)チュートリアル的な セミナー講演と実習を行います。
 これにより、プラットフォームの積極的利用を促し、研究開発の進展に寄与することを目的とします。
 多くの皆様のご参加をお待ちしております。
 ※実習コースのみの参加はできません。
■パンフレットは<こちら>(pdf形式)
■詳細は、微細加工プラットフォームのホームページの<ここ>をご覧ください。
■お問合せ:(担当: 田部井 哲夫)
      広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
      Web: http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/(研究所)

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