イベント

マテリアル先端リサーチインフラ 令和4年度 学生研修プログラム
広島大学募集テーマ:CMOSトランジスタ・IC作製実習

マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM)として、学生研修プログラム(全37テーマ)の参加者を募集しています。 https://nanonet.mext.go.jp/page/gakusei_2022.html

その中で当研究所では、「CMOSトランジスタ・IC作製実習」を、下記のとおり開催いたします。
■期 間: 2022年7月25日(月)〜30日(土)6日間
■場 所: 広島大学ナノデバイス研究所 (オンラインも検討中)
http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/
内容:NMOS,PMOSトランジスタを用いたCMOS-ICの試作実習を通じて、
プロセス基礎技術とトランジスタ・回路の基本技術全体を学びます。
イオン注入、酸化、リソグラフィー、エッチングなど基本技術を学びます。
作製する回路は、CMOSインバータを基本とするリングオシレータ、SRAMなど。
時間短縮のためN-ウェル形成までは研修前に準備します。
受講生は主にトランジスタ回路設計及びデバイス作製途中のパターン観察と
完成後の特性評価を行います。半導体製造装置によるデバイス作製は
主にスタッフが行います(受講生は簡単な作業と操作を見ながら講義を受けます)。
最小加工寸法は、マスクレス露光を用いた3ミクロンとします。

関心をお持ちの方々の参加を歓迎致します。
パンフレットはこちら(pdf形式)

■参加費:無料、 旅費&宿泊費:支給
■お申し込み方法:Web: https://nanonet.mext.go.jp/mailform.php?code=3 から
 応募申込書に必要事項を記入の上、送信してください。
■応募締切 :2022年5月31日(火)


■参加者確定:6月中旬

■報告書:所定の様式にて報告書を提出していただきます。
■成果発表会:
 日時:2022年9月中〜下旬
 場所:東京近郊(オンライン併用開催)

■お問合せ: マテリアル先端リサーチインフラ 学生研修プログラム事務局
      ( 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 ARIMセンター運営室内 )
       E-mail: NPF_koubo@ml.nims.go.jp
       電話: 029-859-2777( 平日:9:00-12:00,13:00-17:00 )
 または、
      (担当: 山田 真司)
      広島大学ナノデバイス研究所
      Web: http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/(研究所)


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