プロジェクト概要

新技術でSiドライバICに接合された薄膜LED Si基板上に付着した微粒子 TiN /Alマスクにより形成したローソク型ダイヤモンドナノ突起
上の画像をクリックすると、詳細を見られます。
<概要>
 文部科学省のナノテクノロジープラットフォームプロジェクトの一環として、
広島大学(ナノデバイス・バイオ融合科学研究所・先端物質科学研究科)では
超微細構造形成 のための支援を行います。
広島大学では、研究所の保有する電子ビーム露光装置を用いたゲート長
数十nmの超微細トランジスタの設計・製作技術を支援に活用すると共に、
ナノ構造形成プロセスおよびそれを利用した超微細デバイスに関する
技術相談(随時受付)にも応じます。


<支援内容>
(1)ナノ構造加工・MEMS構造加工およびプロセス設計
(2)薄膜形成・不純物導
(3)ナノ構造パターン設計
(4)シリコンナノドット関連


<支援形態>
(A) 共同研究
(B) 機器利用
(C) 技術代行
(D) 技術相談
(E) 技術補助

それぞれの支援形態の詳しい内容については<採択基準と支援形態>をご覧ください。
利用できる装置につきましては、<機器一覧>をご覧ください。


<広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所の紹介>
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所のスーパークリーンルームに
設置された電子線描画装置を始めとするデバイス試作ラインを用いて、
共同研究 機器利用 技術代行 技術相談 技術補助 を実施します。
・2インチシリコンウェハを用いて、30nmの超微細加工が可能です。
 シリコン以外の材料に対しても可能な限り対応します。
・N&MEMS技術、バイオ関連デバイスに関しても、
 本学 先端物質科学研究科などと連携して
 異分野融合を推進し高度で多様な支援を提供します。
・学内社会連携推進機構や社会人教育プログラムを通じて産学連携を推進し
 利用者の拡大に努めています。

これまでの支援成果例として、
プリンタ用レーザヘッド低コスト製造法(エピフィルムボンディング法)の実用化
 (2007年内閣総理大臣表彰 「ものづくり大賞」優秀賞受賞)や
シランプラズマ中のダスト微粒子抑制法
  (2006年日本エアロゾル学会論文賞受賞)などがあり、
日本のナノテクノロジーの発展に少なからず貢献できたものと自負しております。
今後とも、多くの方々に本支援プロジェクトをご利用いただき、日本のナノテクノロジー発展に貢献できれば幸いと存じます。
ぜひ、貴機関の関連研究者の方々にご周知くださるようお願いいたしします。
なお、本要項記載の内容及び申請書式は、 <こちらのページ> からダウンロードしてご利用ください。

連絡先は、 <こちらのページ>をご覧ください。




<イベントのご紹介 その1>
1.バイオ&ナノ・マイクロデバイス実践セミナー
講義(座学コース)および実習(無料コースと有料コース)

  • 講義(座学コース) 2018年10月12日(金)13:00〜17:00
  • 実習(無料コースと有料コース)
  •   無料実習コース:マスクレス露光装置を用いたマイクロ流路作製
             2019年1月9日(水)〜10日(金)(2日間)定員:最大4名
      有料実習コース:流路付加バイオセンサーの作製・測定
             2019年1月9日(水)〜11日(金)(3日間)定員:最大4名 参加費:3万円/人
  • 実習場所:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
  •       http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/

    詳しくは→ <こちらのページ>をご覧ください。


    <イベントのご紹介 その2>
    ナノテクノロジープラットフォーム 2018年度 技術スタッフ交流プログラム(一般募集)
    広島大学募集テーマ:
    【NO.14】電子ビーム露光を用いたナノワイヤトランジスタの作製とバイオセンサーへの応用


    昨年度より、ナノテクノロジープラットフォーム内の技術スタッフのために開催されていた技術者
    交流プログラムを一般の方向けにも一部開放する事となり、その参加者を募集します。
    その中で当研究所では、下記のとおり開催いたします。

    【NO.14】電子ビーム露光を用いたナノワイヤトランジスタの作製とバイオセンサーへの応用
    ■期 間: 2018年11月26日(月)〜28日(水)3日間

    詳しくは→ <こちらのページ>をご覧ください。