| 申請者 | 研究課題名 |
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| 横山士吉(九州大学先導物質化学研究所教授) | ナノ微細光学デバイスを用いた高性能高分子光デバイスの作製 |
| 小出晃(日立研究主任研究員) | テトラメチルアンモニウムハイドを用いた多段異方性エッチングプロセスでの加工形状制御 |
| 黒木伸一郎(東北大学助教) | イオン注入による多結晶シリコンの横方向結晶配向制御の研究 |
| 保坂純男(群馬大学大学院生産システム工学科) | LPCVDを用いたトンネル接合PIN型太陽電池基板の研究(H22年度の続き) |
| 広島大学サステナブル・デイベロップメント実践研究センター | クリーンエネルギー社会構築に資する先端物質の開発と物性測定（超伝導および熱電酸化物薄膜のエピタキシャル薄膜の構造解析） |
| ウシオ電機 | 表面プラズモン共鳴バイオセンサ用、試薬濃度自動調整ユニットの開発 |
| 谷奥正巳(エルピーダメモリ株式会社) | 酸化物薄膜の組成比制御 |
| 明連広昭(埼玉大学大学院理工学研究科教授) | 多量子ビーム検出用超伝導トンネル接合素子 |
| 山口布士人(旭化成イーマテリアルズ株式会社新事業総部光学材料開発グループ) | サファイアをドライエッチング加工（ICP-DE Cl2/BCl3） |
| 新宮原正三(関西大学システム理工学部機械工学科教授) | ナノスケール光・電子回路素子およびセンサーの作製と評価 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | ヒト全血中の血漿のハイスループット抽出 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | イムノアッセイデバイスの高感度化を目的としたマイクロチャネル形状の最適化 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | 細胞中に含まれる微量金属検出のためのマイクロデバイス作製 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | マイクロ流体デバイスにおける新しいポンプ機構の開発 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | 粒子半径による分離を目的としたマイクロチャネル形状の最適化 |
| 青柳誠司(関西大学システム理工学部機械工学科) | 可動ゲート電極を有するMOSFET型加速度センサの高感度化 |
| 鈴木昌人(関西大学システム理工学部機械工学科) | クロストークを抑制したマイクロ振動系の開発 |
| 鈴木昌人(関西大学システム理工学部機械工学科) | Si光導波路型リング共振器を用いたMEMSリングレーザジャイロスコープの開発 |
| 末信一朗(福井大学大学院工学研究科生物応用化学専攻教授) | ゾルゲルシリカ光導波路ファイバセンサネットワークの研究 |
| 高田啓二(関西大学システム理工学部機械工学科教授) | 不揮発性メモリ素子動作現象の基礎的物理計測のための素子試作�� |
| 黒木伸一郎(東北大学助教) | レーザ結晶化Siナノワイヤーの3次元配向制御 |
| 小松弘典<(三井化学機能化学品開発部)/TD> | SIMSによるポーラスLow-k内への不純物拡散評価と水素プラズマ処理 |
| 春木将司(広島大学物質化学工学部門助教) | 超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発 |
| 竹中啓(日立研究所機械研究センタ) | ピラー型捕集板の製作（PDMS製マイクロ流路の鋳型作製） |
| 成瀬恵治(岡山大学医歯薬学総合研究科システム生理) | ソフトリソグラフィーを用いた伸展可能平面パッチクランプ用電極の開発 |
| 田中武(広島工業大学) | 光源の位置、方向検出可能なデバイスの作成 |
| 保坂純男(群馬大学大学院生産システム工学科) | LPCVDを用いた多層トンネル接合型PIN太陽電池基板の試作 |
| 笠間敏博(名古屋大学大学院工学研究科 化学・生物工学専攻) | ナノ空間による生体高分子１分子の疑似２次元解析 |