| 申請者 | 研究課題名 |
|---|
| 風間敦（（株）日立製作所機械研究所） | 機器に融合するマイクロナノデバイスの基礎検討 |
| 奥村有道（ダイセル化学工業（株）コーポレート研究所） | 次世代向けレジスト材料の開発 |
| 曽里裕（広島ネームプレート工業（株）） | フォトエッチングによるステンレス板の微細加工 |
| 浦岡行治（奈良先端科学技術大学大学院） | レーザ結晶化による3次元構造LSIの開発 |
| 青柳誠司（関西大学システム理工学部） | マイクロ／ナノインプリント技術を用いた高指向性反射シートの開発 |
| 青柳誠司（関西大学システム理工学部） | ナノマシン技術を用いたMOSFET型加速度センサの開発 |
| 鈴木昌人（関西大学システム理工学部） | ナノスケールSiリング光導波路の中空化とこれを用いた光学式慣性力センサの研究 |
| 若狭直美（広島第一測定） | 触媒物質の確認 |
| 鈴木仁（広島大学大学院工学研究科先端物資化学研究科） | DNA泳動実験用電極の作製 |
| 宮原裕二（独立行政法人物質・材料研究機構生体材料センター） | センサ基板への電気浸透流ポンプの一体化試作 |
| 縄稚典生（西部工業技術センター） | センサ応用を目的としたFET試作・評価 |
| 金田宏（ダイセル化学工業（株）コーポレート研究所） | SEM像からのラフネス評価 |
| 田中武（広島工業大学共用研究機構ブルガリア科学アカデミー電子工学研究センター） | Non linear resist behavior in electron beam lithography |
| 高田啓二（関西大学システム理工学部機械工学科） | 不揮発メモリ素子動作現象の基礎的計測のための素子試作 |
| 中本英樹（（株）日立エンジニアリング） | 微粒子流動観祭用マイクロ流路の試作 |
