| 申請者 | 研究課題名 |
|---|
| 春木将司（広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻助教） | 超臨界成膜プロセス構築に必要となる平衡物性と反応速度の測定及び超微細空間の次世代洗浄技術の開発 |
| 木原伸一（広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻准教授） | ブロックコポリマーによるベシクル構造体等の形成とその表面固定化過程の解析 |
| 本岡輝昭（九州大学大学院工学研究院教授） | SOI基板のナノ加工による新規シリコン導波路デバイスの試作と評価 |
| 小川和夫（エルピーダメモリ（株）Senior Engineer） | 垂直トランジスタの不純物濃度分布最適化の研究 |
| 山田啓司（広島大学大学院工学研究科機械システム工学専攻准教授） | レーザ割断によるウエハダイシング工程における初期欠陥導入技術の開発 |
| 山田憲嗣（広島工業大学情報学部健康情報学科准教授） | DNAコンピューティングマイクロアレイの作製 |
| 松尾直人（兵庫県立大学大学院工学研究科教授） | 改良型トンネリング誘電体薄膜トランジスタ(TDTFT)の作製と電気特性の評価 |
| 梯英一郎（エルピーダメモリ（株）Proffessional） | 電子ビーム露光を用いた狭ピッチ溝アレイの作製 |
| 前田一彦（セントラル硝子（株）化成品事業企画室） | 塗布型光導波路と受光素子の集積化 |
| 前田一彦（セントラル硝子（株）化成品事業企画室） | SF6の代替フロンガスによる微細加工技術 |
| 中里和郎（名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻教授） | SiNを用いたバイオセンサチップ |
| 関西大学システム理工学部 | NAEMS技術を用いたMOSFET型加速センサの開発 |
| 出来秀典（広島国際学院大学工学部） | VHF-ICPプラズマ装置を用いた高結晶性微結晶Ge薄膜の高速堆積と評価 |
| 荻原光彦（（株）沖デジタルイメージング開発部部長） | ナノオーダー平坦表面回路技術の研究 |
| 稲原順一（エスペック（株）主事補） | 超臨界CO2によるPSLナノ粒子の除去効果 |
| 西村一仁（高知県産業振興センター専門研究員） | ナノダイヤモンド膜表面の吸着物質評価 |
| 新宮原正三（関西大学システム理工学部機械工学科教授） | ナノスケール光・電子回路素子およびセンサーの作成と評価 |
| 物質材料研究機構 | Al2O3の電界強度 |
| 小山浩司（並木精密宝石株式会社YBO開発） | ダイヤモンドの加工 |
| 小田原工業 | PCVDのシャワープレート |
| リコー東北研究所 | MEMS TMR磁気センサー他 |
| アドテック | ドライエッチング評価用のサンプル |