| 申請者 | 研究課題名 |
|---|
| 寺田健太郎（広島大学大学院理学研究科地球惑星システム学専攻助手） | 地球外サブミクロン粒子の軽元素同位体分析 |
| 嶋田哲也（エスペック（株）） | 超臨界CO2によるナノパーティクルの除去効果 |
| 浦岡行治（奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科助教授） | 一次元基板を用いた低温多結晶薄膜トランジスタの開発 |
| 森田瑞穂（大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻教授） | 金属−酸化物−半導体トンネリング構造の受光特性の研究 |
| 東賢一（積水化学工業（株）水無瀬研究所企画グループ副主任技術員） | 感光性薄膜材料のフォトリソ性評価 |
| 下山正（（株）荏原総合研究所主任研究員） | メッキ法によるＣｕ微細配線形成技術の研究 |
| 黒木伸一郎（東北大学工学研究科助手） | 超ＬＳＩ半導体デバイスのＣＭＰ平坦化に関する研究 |
| 西林良樹（住友電気工業（株）半導体技術研究所主席） | ダイヤモンドシングルナノエミック作製に関する技術開発 |
| 明連広昭（埼玉大学大学院理工学研究所助教授） | Aｌ超伝導トンネル接合素子を用いた高分析能フォトン検出器に関する研究 |
| 佐道泰造（九州大学大学院システム情報科学研究院助教授） | シリサイド/Siのマイクロエピタキシーに関する研究 |
| 滝本嘉夫（次世代半導体材料技術研究組合研究員） | 積層絶縁膜構造における高精度容量測定法および、絶縁膜ｋ値抽出法の開発 |
| 松尾直人（兵庫県立大学大学院工学研究科教授） | トンネリング誘電体薄膜トランジスタの作製と初期特性の評価 |
| 前田一彦（セントラル硝子（株）化成品事業企画室電子材料開発グループ） | 塗布型光導波路の光配線ＬＳＩへの応用 |
| 東清一郎（広島大学大学院先端物質科学研究科助教授） | 微細構造制御用高速熱処理時におけるウェーハの高精度温度測定法の研究 |
| 本岡輝昭（九州大学大学院工学研究院材料工学部門教授） | シリコンナノ加工による新規オプトエレクトロニクスデバイスの試作と評価 |
| 宮崎誠一（広島大学大学院先端物質科学研究科教授） | Ｓｉ量子ドットＬＥＤの光配線ＬＳＩへの応用 |
| 西川公人（（株）エコトロン 取締役, 技術部長） | シリコンカーバイドを用いたMOSデバイスの研究 |
| 東清一郎（広島大学大学先端物質科学研究科助教授） | 熱プラズマジェットを用いたミリ秒急速熱処理による半導体膜中の不純物活性化に関する研究 |
| 戸田昭彦（広島大学大学総合科学研究科助教授） | 高分子材料の低ダメージエッチング手法の開発 |
| 藤山紀之（東レリサーチセンター表面科学研究部イオンビーム解析研究室SIMSグループ研究員） | SIMS分析の有効性検討（極小パターンに対するBackside） |
| 伊藤厚雄（信越化学） | 新規開発シリコンウェーハのデバイスレベル評価に関する相談 |
| 木原伸一（広島大学大学院工学研究科物質化学システム専攻） | ポリマー薄膜のエリプソ測定 |
| 樋口義勝（（株）本田技術研究所基礎技術研究センター） | 薄膜の原子層制御CVDについて |
