| 申請者 | 研究課題名 |
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| 広島大学院先端物質科学研究科 教授 小方厚 | ナノロッドと電子ビームによる発光現象の研究 |
| 大日商事（株）マーケティング開発統括部門 大山幸次 | 超微細デバイス対応のクリーン化ユニットを付加したウェハボックスのＭＯＳデバイスによる評価 |
| ワッカー・エヌエスシーイー（株）Ｒ＆Ｄグループグループリーダ 四戸敬昭 | シリコン中微細欠陥を利用した、選択異方性エッチングによる超微細構造の形成 |
| 広島工業大学工学部電子・光システム工学科 助教授 田中武 | プラズマイオン注入法を用いた複雑形状試料の滅菌技術の開発 |
| （財）ファインセラミックスセンター 主任研究員 西林良樹 | 高輝度ダイヤモンドナノエミッタの開発 |
| （株）沖デジタルイメージング次世代ヘッド開発プロジェクト 部長 荻原光彦 | ナノオーダー平坦表面ボンディング技術の研究 |
| 広島大学先端物質科学研究科 助教授 樋口克彦 | ナノ構造を有するMOSFETにおける低周波雑音 |
| 奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科 助教授 浦岡行治 | ナノスケールデバイスにおけるゲート絶縁膜の窒素のSIMS分析 |
| 信越石英株式会社石英技術研究所応用研究室 室長 藤ノ木朗 | ナノエッチャー用合成石英ガラス材料の評価 |
| タツモ株式会社半導体装置部設計課 廣田俊明 | 塗布膜形成装置開発 |
| クライアントジャパン株式会社ポリシラザン事業グループ 青木倫子 | 感光性ナノポーラス層間絶縁膜開発 |
| 三井化学（株）機能材料研究所 主任研究員 田中博文 | ナノポーラスシリカ材料の開発 |
| 広島大学総合科学部 功刀義人 | 有機FET素子の開発 |
| セントラル硝子株式会社ファインケミカル事業企画室 前田一彦 | ＬＳＩ用塗布光導波路技術の研究 |
| 産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門 研究員 昌原明植 | 縦型ダブルゲートMOSFETの開発 |
| 科学技術振興事業団研究成果活用プラザ広島奥山アドテックプロジェクト 研究員 柏原伸紀 | シランガスを用いたプラズマＣＶＤプロセスにおける電力変調による微粒子抑制 |
| 名古屋工業大学電気情報工学科 助教授 市村正也 | ナノトランジスタに向けた精密ドーピング技術開発のための薄膜SOIウェハ中の不純物拡散に関する研究 |
| 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学部 助教授 吉本昌広 | ワイドギャップ半導体を用いたナノデバイス構造の試作 |
| 京都工芸繊維大学工芸学部電子情報工学部 助教授 吉本昌広 | ナノデバイス用窒化シリコン薄膜の新規堆積法の開発 |
| 三井物産（株）ナノテク支援事業室 村岡珠美 | 技術相談 |
| 青山学院大学電気電子工学科 春山純志 | 技術相談 |
| ワッカーエヌエスシーイー（株）RR＆Dグループ 碇敦 | シリコンウェハ上の欠陥を用いたナノ構造形成法について |
| 航空宇宙技術研究所宇宙システム研究センター 桜井誠人 | 表面のラフネスと濡れ性について |
| （株）沖デジタルイメージング次世代ヘッド開発プロジェクト 荻原光彦 | 光デバイスのシリコン基板上への集積法 |
| バリアンセミコンダクターイクイップメント（株）営業MKT本部 副本部長 角田功 | ナノトランジスタ形成に必要な極低温エネルギーイオン注入時に極薄スクリーン酸化膜による再現性の向上に関して |
