エリオニクスG-100を用いて10nmの微細レジストライン/スペースパターンを描く方法を習得します。

文部科学省ナノテクノロジープラットフォームの事業として、無料および有料の電子ビームリソグラフィ実習の参加者を募集しています。関心をお持ちの方々の参加を歓迎致します。

パンフレットはこちら(pdf形式)


■参加費：無料

■お申し込み先：Web: https://nanoworld.jp/npf/training/h26-1/ 応募締切6月5日（木）

■お問合せ：yokoyama-shin@hiroshima-u.ac.jp（横山 新）
　　　　　　　　広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
　　　　　　　　Web: http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/ （研究所）